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光刻胶低温冷冻库设计建造

发布日期:2022-12-30 来源:浩爽 作者:浩爽

  光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。那么光刻胶存储是怎么样的呢?

光刻胶低温冷冻库设计建造

  光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶(包括紫外正、负性光刻胶)、深紫外光刻胶、X-射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。


  光刻胶对光敏感,在光照或高温条件下其性能会发生变化。光刻胶在储存过程中会老化,因此通常保存在防光的棕色玻璃试剂瓶中(部分电子束胶由于对紫外波段不感光,有可能直接使用白色塑料瓶包装),冷藏保存,并且紫外光刻胶只能在黄光(λ>500 nm)下进行处理。通常一款光刻胶的失效日期和建议的存储温度会标注产品标签上。如果保持在这些温度下,未开封的光刻胶将稳定到有效期(通常是生产后的2年,视产品不同略有不同)。通常光刻胶销售时会有一个承诺有效日期,这个日期往往会小于瓶示质保期。需要区分。


  温度:对于绝大多数紫外光刻胶而言,通常建议的保存条件是5-10℃下保存(除制造商要求的特殊保存温度外)。如果未打开的瓶子在低于佳温度的条件下(例如,在5–8°C的温度下与建议的10–18°C的温度相比)存储,则可以使一些光刻胶,在超过其有效期限外还可以保持光刻胶的特性并使用。


  如果频繁打开光刻胶试剂瓶会导致溶剂蒸发,光刻胶会增稠并因此产生较厚的膜。对于膜厚为1.4µm的光刻胶,仅损失1%的溶剂就已经导致4%的膜厚,因此带来的影响是需要更高的曝光剂量。所以建议按照实际使用的量进行购买相应包装规格的光刻胶。

光刻胶低温冷冻库设计建造

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